中国科大微电子学院
  

李佩玥

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经历:
2007.07 吉林大学 测控技术与仪器专业 学士
2012.07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电路与系统专业 博士

简介:

在职期间,参与国家级项目3项、省部级项目3项、其他类型项目2项,主持吉林省科技发展计划项目青年基金1项,共计发表文章40余篇(第一作者8篇),申请专利10余项(第一发明人3项)。现任超精密光学工程研究中心先进精密光电仪器研究室主任,主要承担国家科技重大专项02专项曝光光学系统中光刻物镜控制系统及国家863计划激光投影显示系统的研制工作。

研究方向:精密位移控制、激光投影显示、嵌入式系统。

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